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  深能级瞬态谱仪

 

德国Phystech FT1230深能级瞬态谱仪

产品简介:

  FT230 是一款测量半导体领域研究和检测半导体杂质、缺陷深能级、界面态等的重要技术手段。

德国Phystech FT1230深能级瞬态谱仪特征:

 接触检查
规测试和加强软
动电补偿
FET电流瞬态测量

容和度范

灵活性高、模化硬件

支持各种冷却和温度控制器
傅里叶转换F-DLTS),比例窗口和用自定校正功能

     DLTFS(深傅里叶光谱仪

    

PhysTech 1990 年推出了第一台数字 DLTS,随着电脑技术的发展,使得在短时间内进行复杂计算成为可能。在纯指数发射过程模型的基础上,用各种数学模型分析测量到的瞬态过程,如傅里叶转换、拉普拉斯转换、多指数瞬态拟合、ITS(等温瞬态光谱)信号重叠法、温度扫描信号重叠法(重折叠)。与其他系统相比,HERA-DLTS 具有无法比拟的能量分辨率

 

 

 

技术原理:

     半导体的掺杂浓度、缺陷能级位、界面态(俘获界面)是研究半导体性质的重要手段。此设备根据半导体P-N 结、金-半接触结构肖特基结的瞬态电容(△Ct)技术和深能级瞬态谱(DLTS)的发射率窗技术测量出的深能级瞬态谱,是一种具有很高检测灵敏度的实验方法,能检测半导体中微量杂质、缺陷的深能级及界面态。通过对样品的温度扫描,可以给出表征半导体禁带范围内的杂质、缺陷深能级及界面态随温度(即能量)分布的DLTS 谱。

 

应用领域:

ü  宽禁带半导体

 

FT1230规格参数:

 

 通过一次温度扫描,给出28个温度扫描信号。

 温度范围:15K-450K77K~600K

电容补偿:0。1-3000 pF
 

 

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